ElectroStatic Chuck 真空靜電吸盤
半導體真空製程中用於固定晶圓或玻璃基板,從而運送、穩定製程的重要部件。
  說明
目前有提供Johnsen-Rahbek(JR) type與Coulomb(庫倫) Type兩種形式之靜電吸盤使用之陶瓷。

優點
  • 優異的吸脫反應
  • 優異的平面度
  • 高耐久度
  產品規格
材質: Al2O3
密度: 3.98
楊氏係數: 400 GPa
維氏硬度: 14 GPa

針對不同需求亦可調整材質